【株式会社リガク×東北大学】NanoTerasu活用のX線計測共創研究所を設立

　株式会社リガク（東京都昭島市）と東北大学（宮城県仙台市）は、2026年8月1日、「リガク・東北大学X線計測共創研究所 Beyond The Limits」を東北大学内に設置し、共同研究を開始した。設置期間は2029年7月31日までの3年間で、成果に応じて延長を検討する。

同研究所では、X線計測技術の高度化や新たな計測手法の確立、次世代の研究者・技術者の育成に取り組む。背景には、半導体の小型化や多層化、多材料化に伴い、従来の計測技術では微細構造や深さ方向の解析が難しくなっていることがある。

研究では、東北大学の次世代放射光施設「NanoTerasu」を活用した軟X線による微細構造の計測技術開発を進めるほか、同大学の情報科学分野の知見とリガクのX線計測技術を組み合わせ、データ解析手法の高度化を図る。

初期段階では半導体分野での軟X線計測の実用化などを重点的に進め、その後は電子材料や機能性材料などへの展開も想定する。

また、X線計測を体系的に学べる教育機会の提供や、大学院生を対象とした「リガク奨学制度」も設け、産業界と学術界の双方で活躍する人材の育成につなげるとしている。